实验设置目标：

    微电子机械系统（MEMS）的研究和应用已经非常广泛，并且市场对低成本、高可靠性以及微型化的机电系统需求也越来越迫切。为此，我们学校电子、仪器专业都开设有针对微系统设计与制造的课程《微纳加工技术》、《微电子机械系统加工技术》以及《微型机电系统设计基础》，旨在培养MEMS技术方面专业的高端技术人才。

    MEMS系统的由于其结构、特性以及制造工艺的特殊性，使得对其的设计复杂性大大增加。长期以来MEMS的设计者不得不通过直接制造原型的方法来验证设计，导致制造过程长，研制成本高。采用先进的MEMS CAD软件能帮助设计人员从复杂的多能量域分析以及繁琐的建模过程中解脱出来，同时提高设计的精确性和效率。

实验课程内容与成效：

    建设MEMS学科虚拟仿真实验教学课程两门《微纳加工技术》、《微电子机械系统加工技术》。基于Ansys的MEMS结构设计仿真实验, 熟练掌握MEMS领域主要器件结构的工作原理和多能域耦合行为。

    基于CoventorWare的MEMS结构设计, 开展电子束光刻工艺、化学湿法腐蚀和干法刻蚀工艺、薄膜淀积工艺、光学曝光的仿真实验等，让学生初步具备常规MEMS器件与测试结构的设计能力；理解微纳设计领域特殊的可加工性问题，明确加工尺寸效应对微纳器件性能的显著影响。

    对于微机电系统，由于其微型化特点，使其具有了许多宏观情况下所不具有的特殊性质如边缘效应、寄生效应等，这使得宏观机械进行简单的微型化是无法满足设计要求的。同时对材料以及加工工艺也提出了较高的要求。为了使学生能了解微机电系统的原理和物理特性，掌握机械、电路设计的相关方法。利用ANSYS仿真软件对微机械系统进行结构力学分析、热分析以及耦合分析。利用SPICE对其电路进行测试和仿真。